超純水プラント モニタリング用 オンライン微粒子測定装置
ANATEL UP-100アナテル UP-100

超純水プラント モニタリング用
オンライン微粒子測定装置

超純水(ultrapure water, UPW)の粒子モニタリングおよび制御は、多くの製造業にとってますます重要になってきています。フラットパネルディスプレイ(FPD)やハードディスクドライブ(HDD)部品などの高精度製造技術の進歩により、洗浄プロセス中の汚染粒子を0.1 μmという小さなレベルまで測定する必要があります。

ANATEL UP(Ultrapure)-100は、脱イオン水(Deionized water, DIW)のアプリケーションとして、0.1 μm粒子モニタリングに完全に統合されたソリューションを提供します。トラブルシューティングや施設の超純水製造工場内の重要な場所を監視する目的などのために、効果的かつ手頃な価格でUP-100を導入できます。

ANATEL UP-100

特長

  • 0.1 μmおよび0.2 μm粒子モニタリング
  • 4 ~ 20 mAアナログ出力
  • 簡易なメンテナンス
  • 優れた流量調整
  • 超高速クリーンアップ時間
  • レーザーパワー診断
  • 粒子カウントソフトウエアが使用可能

UP-100は、強力な光学方式、計数および通信エレクトロニクス、独自の流量制御システムをすべて1つの計器に統合して卓越した性能を提供します。DI水プラントのモニタリングなどの高圧アプリケーションでは、システム全体の流量は1.0 LPMを超えています。高圧・大流量であっても測定機内部での精密な流量制御、リカバリ時間と素早いクリーンアップにより、正確に微粒子を測定することが可能です。また、高温の脱イオン水モニタリングにおいてはUP-100が最適であり、80℃でも評価されています。

UP-100には使いやすいWindows ベースの設定ユーティリティが付属しており、インストールと統合を迅速かつ容易に行うことができます。チャンネル数、サンプリング間隔、4~20 mAアナログ出力スケーリングなどのパラメータは、特定の要件に合わせて素早く調整できます。リアルタイムのシステム診断機能により、データの整合性が損なわれることはありません。キャリブレーションはNIST標準に完全に追従します。

仕様

UP-100 2チャンネル(製品番号:2086704-01)

UP-100 4チャンネル(製品番号:2086704-02)

性能
粒径区分 2チャンネル:0.1 μm、0.2 μm
4チャンネル:0.1 μm、0.2 μm、0.5 μm、1.0 μm
感度レンジ 0.1 ~ 5 μm @ 100 mL/min
最大個数濃度 100,000 count/mL(光学的コインシデンス:10%)
データ表示 2チャンネルまたは4チャンネルで設定可能
ステータス表示 電源、レーザー出力不良、水漏れリーク状態(LED表示)
光学系方式 90°側方散乱と前方散乱併用
光源 150 mW (標準) 近赤外線(837 nm) レーザーダイオード
I/Oコネクション I/Oコネクション4 ~ 20 mAアナログ出力(標準2チャンネル、オプション4チャンネル) RS-232シリアル入出力(セットアップ時)
サンプル
温度 オペレーティング:7 ~ 40℃、サンプル:7 ~ 80℃
圧力 圧力最大:100 psig(690kPa) 最小:7.0 psig(48 kPa)
システム流量 1.0 L/min以上(給水圧>414 kPa〔60 psi〕)
サンプル流量 100 mL/min(給水圧207 ~ 690 kPa〔30 ~ 100 psi〕で安定化)
ユーティリティ
電源 電源90 ~ 260 VAC、50/60 Hz
消費電力 最大80 VA(0.8 A 100 V使用時)
キャリアガス 不要(ただし、水温と外気温度の差が10℃以上の場合は窒素パージが必要)
物理的特性
重量 8 kg
寸法 305(W)× 203(H)× 190.5(D) mm
配管接続 ステンレス1/4”Swagelok(給水口・排水口)
環境温度 0 ~ 35℃
耐湿度 最大90%(結露のないこと)

*付属品:セットアップソフトウエア、1/4”テフロンチューブ(サンプルチューブ、ドレインチューブ)、電源コード、取扱説明書

オプション

  • UP100用ケース(製品番号:C24664)
  • UP100用ノートPC(製品番号:C24915)
  • RS-232C & USBシリアルケーブル(製品番号:B68892)
  • クリーニングブラシ(製品番号:070148-03)