パーティクルカウンター資料集
クリーンルームの規格(ISO 14644-1)

ISO 149644-1は、2015年12月に第2版がリリースされました。第2版の改正ポイントはこちら

クリーンルームの空気清浄度規格は、1963年、米国連邦規格(FED-STD-209)として初めて制定されました。(ISO14644-1の制定に伴い2001年に廃止)
米国連邦規格では、0.5 μm 粒子の1立法フィート(1 ft3)中の粒子数を規定しており、「クラス100」とは、1 ft3中に0.5 μmの粒子が100個以内である事を意味します。

空気清浄度クラスによる測定粒径と上限濃度

管理区域ごとに要求される空気の清浄度の許容基準を表1に示した。

表1. 空気の清浄度

清浄度クラス 上限濃度(個/m3
ISO 14644-1 米国連邦規格
(Fed.Std.209E)
測定粒径
0.1 µm 0.2 µm 0.3 µm 0.5 µm 1.0 µm 5.0 µm
Class1   10 2        
Class2   100 24 10 4    
Class3 1 1,000 237 102 35 8  
Class4 10 10,000 2,370 1,020 352 83  
Class5 100 100,000 23,700 10,200 3,520 832 29
Class6 1,000 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293
Class7 10,000       352,000 83,200 2,930
Class8 100,000       3,520,000 832,000 29,300
Class9         35,200,000 8,320,000 293,000

1999年に国際規格ISO 14644-1が制定され、1 m3中の0.1 μm以上の粒子数を規定しました。
※1 ft3=0.02832 m3
従来各国で異なった規格を用いていましたが、国際基準が設けられたことで各国標準の規格規定が整い、現在では徐々に統一基準が浸透するようになってきております。
日本では未だに米国連邦規格のクラス100やクラス1000と呼ぶケースが多いですが、既に米国連邦規格は廃止されており、今後はISO規格に慣れていく必要があります。

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