パーティクルカウンター資料集
気中パーティクルカウンターの測定原理

空気清浄度クラスによる測定粒径と上限濃度

清浄度クラス 上限濃度(個/m3
ISO
14644-1
米国連邦規格
(Fed. Std. 209E)
 
0.1µm 0.2µm 0.3µm 0.5µm 1.0µm 5.0µm
Class 1   10 2        
Class 2   100 24 10 4    
Class 3 1 1,000 237 102 35 8  
Class 4 10 10,000 2,370 1,020 352 83  
Class 5 100 100,000 23,700 10,200 3,520 832 29
Class 6 1,000 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293
Class 7 10,000       352,000 83,200 2,930
Class 8 100,000       3,520,000 832,000 29,300
Class 9         35,200,000 8,320,000 293,000

Memo

清浄度クラスは、各規格および粒子サイズにより1m3中に存在する粒子個数が決められております。我々が良く耳にする「クラス100や1000」という呼称は、2001年にISOに改められ廃止された米国連邦規格(1CF(立方フィート≒28.3 L))に由来している。

  • 製薬会社では、JP/FDA/EP等に基づいて管理されているが、例えば JP/FDA は 0.5μm の測定を求めており、EU-GMPは 0.5および5.0μmの測定を要求している。
  • 半導体工場は Class 1~5レベル、電子部品や製薬会社は Class 5~8レベル、食品工場や病院等は、Class 6~9レベルが多い。

光散乱方式とは?

  1. パーティクルカウンターに内蔵されている吸引ポンプにより、サンプルを一定量取り込みます。
  2. サンプル取り込み中に、レーザーダイオードーから790nmのレーザー光をサンプルに照射します。
  3. サンプル中に粒子がある場合、その粒子によって散乱した光は、光軸から90度(70度)等に設けられている検出器で捕捉されます。
  4. 粒子の大きさによって、検出器を経由して受ける電気信号の大きさ(波形高さ)が異なり、その波形をカウントした回数が粒子数になります。

粒子径によってパルス(電気信号)が得られます。

サンプル中の粒子により光が散乱した際の電気信号(電圧上昇)を粒子数および粒子径として算出します。

皆様からの、課題解決のためのご相談をお待ちしております。

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