パーティクルカウンター資料集
パーティクルカウンターとは

パーティクルカウンター(Particle Counter)とは、空気中や液体中にある塵・ホコリ・異物・ダスト等をカウントする計測器のことで、日本では微粒子計と呼ばれることも多い。
その測定原理としては、大きく分けて光散乱方式と光遮蔽方式があり、粒子の大きさに比例した電気信号を捉える事で、粒子径と粒子数を計測する。
パーティクルカウンターは、一般にICR(Industrial Clean Room)と呼ばれる工業用クリーンルームとBCR(Biological Clean Room)と呼ばれる医薬品・食品およびバイオテクノロジー分野向けとして、主に空気中の浮遊微粒子や微生物を制御・管理したクリーンルームやクリーンベンチの管理目的で使用されており、主な用途としては下記の通りである。

ICRにおける主な用途

半導体・液晶パネル(LCD)・電子部品・プリント基板・光学部品・精密機器・粉体・高純度原材料・フィルター

BCRにおける主な用途

製薬・医薬品(原薬・合成)・ビバレッジ・食品・化粧品・病院(手術室・ICU・無菌室)

その他

大学・試験研究機関

また、クリーンルームの規格としては空気清浄度クラスと言うものがあり、下記表の通り管理基準が異なっている。

清浄度クラス 上限濃度(個/m3
ISO 14644-1 米国連邦規格
(Fed.Std.209E)
 
0.1 μm 0.2 μm 0.3 μm 0.5 μm 1.0 μm 5.0 μm
class 1   10 2        
class 2   100 24 10 4    
class 3 1 1,000 237 102 35 8  
class 4 10 10,000 2,370 1,020 352 83
class 5 100 100,000 23,700 10,200 3,520 832 29
class 6 1,000 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293
class 7 10,000 352,000 83,200 2,930
class 8 100,000 3,520,000 832,000 29,300
class 9 35,200,000 8,320,000 293,000

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